ピラニーゲージの測定限界とは?原理を教えてください

このQ&Aのポイント
  • ピラニーゲージの測定限界は、高真空を測れない原理によって決まります。
  • ピラニーゲージは、一般的には10^-3~10^3 Paの範囲の圧力を測定するのに適しています。
  • しかし、高真空状態(10^-3 Pa以下)ではガス分子が希薄なため、ガス分子の衝突による圧力の変化を正確に測定することが難しくなります。
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ピラニーゲージ

ピラニーゲージの測定限界は何によって決まってるのでしょうか? 高真空が測れない原理を教えてください。

noname#230358
noname#230358

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noname#230359
noname#230359
回答No.1

真空度が増すに連れて、気体の熱伝動が悪くなり、最後には伝達する分子がなくなり、 熱が伝動しないからとなるんでしょうね。(調べてみると)

参考URL:
http://www.nucleng.kyoto-u.ac.jp/people/ikuji/edu/vac/chap3/pirani.html

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