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局所温度管理についての効果的な手法とおすすめのメーカー
- 最近の半導体検査装置では光学部の温度変化が装置性能に影響を及ぼすことがあります。
- 装置内部の雰囲気を空冷により温調する方法と、金属やガラス部分を直接水冷により温調する方法が考えられます。
- どちらの方法が効果的か判断するためには希望の精度や周囲温度などの条件を考慮する必要があります。おすすめのメーカーについても紹介します。
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