真空炉の断熱材劣化防止について
- 真空炉で使用されるグラファイトなどの断熱材は、劣化することがあります。
- 劣化すると加熱中に酸化燃焼し、早期寿命となってしまいます。
- 寿命延長のために、洗浄、確認、絶縁チェック、保全などの管理方法が重要です。補修方法についてもアドバイスを募集しています。
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真空炉 断熱材の劣化防止
真空炉で使われているグラファイト等の断熱材は、炉内の真空度が悪くなると加熱中に酸化燃焼して断熱材が痩せて、予想以上に早期寿命となってしまいます。（過去実績で早ければ4年程度）現在表面にC/Cを貼り付けたｸﾞﾗﾌｧｲﾄ断熱材を使用。常用1000℃～1220℃。 そこで少しでも寿命を延ばすために、下記のことを取り組んでいます。 ?非処理物の洗浄後の汚れの確認（炭化水素系の真空洗浄使用） ?炉床の落下品を毎バッチ確認 ?エレメント－断熱材の絶縁チェック ?真空度低下（10Pa以上）で加熱停止 ?真空ポンプ RP・MBP・DPの定期保全 ?定期的にリークレートの測定 この他で何か延命の管理方法または痩せた断熱材の補修方法等の妙案があればアドバイスをお願いいたします。
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弊社での真空炉の管理について参考までに記述します。真空度については最低限としています。ワーキングゾーンの均一性を重視しています。 管理基準としては、ピラニー真空ゲージを1年に1回、電離真空ゲージを3年に１回、メーカーが推奨する方法で精度確認を実施しています。冷却ガス（窒素・アルゴン）についても納入時に成分分析を行わせ成績書を添付させています。アルゴンガスについては１年に１回、露天測定などを実施しています。弊社ではこの辺については費用を惜しまず計上します。どちらかというと加熱炉の冷却用フィンチューブの劣化のほうが悩みの種です。
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