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厚い基板上のナノ粒子はどう観測したらいいですか?

SEMの分解能では観測できない、試料(基板)が厚くてTEMでは観測できないようなナノ粒子はどのように観測すれば良いでしょうか。 基板上のナノ粒子の粒径分布を作ることを目的としています。

  • 科学
  • 回答数3
  • ありがとう数3

質問者が選んだベストアンサー

  • ベストアンサー
  • leo-ultra
  • ベストアンサー率45% (228/501)
回答No.3

基板も電気を通すのならば、STMがいいのでは。 AFMだと、ちょっと厳しいか? 最新のやつならばいくかも。

mstott-to
質問者

お礼

STMについて調べてみましたが、分解能も良く目的のものが撮れそうです。 回答ありがとうございました。

その他の回答 (2)

  • leo-ultra
  • ベストアンサー率45% (228/501)
回答No.2

具体的にどういう基板の上に、どういう物質でできたナノ粒子が載っていて、 どのくらいのサイズだと予想されるのでしょうか? そういう基本情報がないとアドバイスしようがありません。

mstott-to
質問者

補足

失礼しました。 基板は金や白金で、ナノ粒子は銀や銅です。 大きさは数nm程度です。

  • tance
  • ベストアンサー率57% (402/704)
回答No.1

エバネッセント光を使った顕微鏡ではどうでしょうか。

mstott-to
質問者

お礼

回答ありがとうございます。 調べてみましたが少し分解能が足りないみたいです。

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