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お礼
早速の回答ありがとうございます！ しかも、分かりやすいです。 論文に載っていたのはエッチング装置でしたが、ロードロックについては同じだと思います。 余談ですが、遠い昔に授業で教官がそんな説明をしてた事も思い出しましたヾ(-_-;) 本当にありがとうございました!! m(__)m