薄膜結晶について

質問

バッファ層とシード層の違いは何なんでしょうか？？

回答No.1

rabbit_cat · ベストアンサー

バッファはその名の通り緩衝材で、シードはその名の通り種でしょう。

基板の物質と薄膜の物質とで、結晶格子や、格子定数なんかが違うと、境界でうまくつながらないんで、膜ができません。それで、基板と薄膜との両方ともと、それなりにつながる物質（基板とも薄膜とも異なる第３の物質）の層を間に挟んだりします。これがバッファ層です。

それから、たとえばメッキとか（ＣＶＤとかでも）なんかで薄膜を作る場合、いきなり基板の上に直接薄膜を成長させることはできなくて、成長のスタート地点として薄膜と同じ物質が必要です。それがシード層です。シード層自体は、スパッタとかＰＶＤとかでつける場合が多いですね。