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GaNの試料の膜厚の求め方
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- inara
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サファイア基板上のGaN薄膜の透過率は、GaNの吸収端波長（GaNのバンドギャップ波長）を境に傾向が違います。 GaNの吸収端波長より短い波長では、入射光は GaN に吸収されますので、この波長領域では、光の波長が長くなるほど吸収係数が小さくなって、透過率が「順当」に上がります。 GaNの吸収端波長より長い波長では、入射光は GaN に吸収されないので、この波長領域ではGaN は透明とみなせます。つまり、レンズの無反射コートと同じように、透明基板上の透明薄膜の透過率の式が適用できます。詳細は参考URLに書いてありますが、その場合、Figure 1 のような状態になるので、多重反射を考慮すれば、全体の透過率は 式(3) の T の式で表されます。式(3)の δ は、式(1)で表されますが、入射光が垂直入射ならΦ1 = 0（cosΦ1 =1）です。 d はGaNの膜厚です。したがって、入射光の波長（λ）を変えれば、2δも変わるので、式(3)の反射率 T も λ によって変わります。λを変えていくと、T はある周期で振動しますが、その周期から、GaNの膜厚 d が計算できます。
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