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パルスレーザー堆積法
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質問者が選んだベストアンサー
酸化チタンの薄膜は微妙な虹色が出せるんで有名です。 透過光ではなく、反射光で色を出せれば いいのなら、酸化チタンに格子定数の近い 金属薄膜を先につけておいて、その上に 酸化チタンをつければいいと思います。 通常はビルのネームプレート みたいに、金属の上に酸化チタンの 薄膜を作って、微妙な色あいを 出すのに使います。
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- jimi0813
- ベストアンサー率61% (11/18)
PLD現役生です。 先ず質問者様へ 色々ありすぎて検討がつきません。 PLDということはエピ狙いだと思うので Ferroelectrics Volume 75, Issue 1-2 , 1987, Pages 25-55 とか Applied Surface Science Volume 193, Issues 1-4 , 5 June 2002, Pages 287-292 とかがいいんですかねぇ？ そして回答者様へ （１)コンベックスかTUIが流行りでしょうか？応用物理学会ではその２つが出ていました。 （２）KrFエキシマか、ArFエキシマがメインですね。変わり種ではNd:YAGの三倍波なんてのもあります。変調可能なものは少ないと思います。 （３）？？？多分誰も気にせずプラズマと言っているのですが…荷電状態ですし。。。歴史的な経緯には疎くて申し訳ございません。
- apple-man
- ベストアンサー率31% (923/2913)
すいません Ｎｏ１の回答した者です。 ついでなんで、興味本位の逆質問なんですが、 差し支えなかったら、使われている レーザー光源について教えて下さい。 １）メーカーはどこのをお使いですか ２）ガスレーザーだと思いますが、 使っている気体の種類、波長は？ 波長は可変可能でしょうか？ ３）プルームの状態については、プラズマ であると証明されたのでしょうか？ それとも全く別の状態？クラスターとの 混合状態？ 今は薄膜作成とは全く関係ないこと してるんで、別にノウハウを盗もうして いるんじゃないんです。 パルスレーザー・ディポジション自体についての 私の知識は１９８０年代のものなんで、最近の 状況についてちょっと興味が湧いたもので。 因みに私が学生だったころ、隣の研究グループが 持っていたレーザー光源は 浜松フォトにクスのと、ドイツのZeitPhyzikで アルゴン・フッソを使っていました。 プルームの状態については、プラズマ類似のもの だということで詳しいことは分かっていなかった んです。 一日中パチパチ音を出していたのが印象 的でした。
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