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「ミラープロジェクション方式」と「ステッパー方式」の違い
- ミラープロジェクション方式（ＭＰＡ）とステッパー方式は、露光装置において使用される技術です。
- ミラープロジェクション方式は、光をミラーで反射させてパターンを形成する方式で、高い分解能と効率的な露光が可能です。
- 一方、ステッパー方式は、パターンをマスクによって直接投影する方式であり、高速な露光が可能ですが、分解能はミラープロジェクション方式に比べて低いです。
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