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オゾンを含む薬液に使用できるOリングを教えて下さい
- 半導体の工程でオゾンを含む薬液に使用可能なOリング又はシール材を教えて下さい。
- 軸シールで使用するため、テフロンやメタルは使用できません。
- オゾンを含む薬液に使用できる特殊な材料から作られたOリングをお探しですね。半導体の工程で使用可能な材料として、ケムラック社の特殊なポリマーを使用したOリングがあります。これらのOリングはオゾンや他の有害な薬液に対して優れた耐性を持っています。お問い合わせいただければ、詳しい情報を提供できます。
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