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アニールについて
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こんにちは。 最初から結晶性の高いシリコンを形成するには、 ガラス基板ごと高温の装置の中で成長させないといけませんが、 それでは、融点の低いガラスが融けたり変形したりしてしまいます。 ですから、アモルファスシリコンをまず低い温度で堆積しておき、次に、ガラスが「高温になったのに気づかない」うちに（つまり短時間で）結晶性を高めることができる熱アニールを行う、という手順が採用されています。
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