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金属薄膜断面のTEM分析について
noname#230359の回答
~結論~ 金属を観察して、有機物も観察することは非常に難しいです。 ご質問からどの方向のTEM像が必要かわかりかねますので、2パターンを考えます。 ~パターン1~ 層を真上から観察する場合 | | | | 金属 |有機物| | | | | | | | | | TEMは透過電子が十分検出できるレベルまで試料を薄くする必要があります。 (ナノオーダー) 膜厚が0.1mmだと仮定すると、0.1mm四方のサンプルから薄膜を作ることができません。 ~パターン2~ 有機物と金属のサンドイッチ構造を観察する場合 ↓観察方向 _________________ 有機物 _________________ 金属 _________________ 有機物を残しながら、金属を極限まで薄することが困難です。 また、できたとしても金属と有機物を同時に観察できません。 透過率が金属の方が悪いと思われるため、金属のみ見ていることになります。 また、ビームが高エネルギーなので、有機物が炭化しないか不安ですね。 樹脂埋めして、レーザー顕微鏡ないしSEMで見たほうがいいかと思います。
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