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冷陰極蛍光管のスローリークについて
noname#230359の回答
当方は石英ガラスとモリブデンの気密シールについて経験があります。 冷陰極管ですとシール方法が多少異なりますが、共通点は多いと思います。 スローリークの原因としては以下の二つが考えられると思います。 １．ガラスと金属の密着不足 ?加圧容器に被検査体を入れヘリウムガスで加圧し、数分放置します。 ?被検査体と取り出します。 ?分圧真空計又はヘリウムディテクタのついた真空容器に被検査体を入れ、ヘリウムの検出量を観察します。 上記の事を何個か行えば良品・不良品について行えば判定が出来るようになると思います。 ?→?はなるべく手早くやりましょう。 実験が終わったら自動化を考えた方がいいと思います。 ２．ガラスの歪による微細なクラック 歪によるクラックの場合はかなり見つけるのが困難だと思いますが、「ガラス用歪計」という物が旭テクノガラスさんが商品化しています。 私には今ひとつ使いこなすことが出来ませんでした。 異なる膨張率の物をあわせれば温度変化によって歪が出るのは当たり前ですが、良い歪の出方と悪い歪の出方があるようです。 アニール条件・歪・クラックの3つの関係をうまく見つけることが出来ればよい検査方法が見つかるのではないかと思います。
- noname#230359
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