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O-ringの摩擦係数について
noname#230359の回答
(1)と(2)(硬化剤入りを使用)と(3)(磨耗させた物を使用)で、 φ300mm Waferを搬送させてみるのが、簡単だと思います。 設計計画(構想)で、φ5mm以下のO-ringを**個使用 <φ300mm Waferの下に**個>なら、 例えば、O-ringの内径より少し大きい丸棒を数本用意して O-ringをセットします。そして、L鋼にV溝を等ピッチに 加工した物を2セット製作して、ベース板にねじ止め。 O-ringをセットした丸棒を、V溝の上に置き並べます。 その上にφ300mm Waferを置き、丸棒を廻すと簡易搬送ユニットが できます。それで、各種のテスト行なう方が簡単です。 使用方法は、誤りだったでしょうか? 後は、似た様にして、プッシュプルゲージを購入しTestを重ねるのも 良いでしょう。 この様な内容を、依頼すると投資効果がでませんよ。 貴殿自身で、工夫しないと。
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