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高精度位置決めと加圧保持について
- 高精度位置決めと加圧保持についての質問です。
- 水平Xステージの高精度位置決めとステージの加圧保持についての設定方法について教えてください。
- 目標は、高精度な位置決めを行った後にストッパー(可変式)を使用してステージを加圧保持することです。
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