タングステンの機械研磨

このQ&Aのポイント
  • タングステンの機械研磨についての方法を教えてください
  • タングステンの自動研磨機を使った湿式研磨の手順を教えてください
  • タングステンの研磨で凹凸ができる原因と対策について教えてください
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  • 締切済み

タングステンの機械研磨

試料はタングステンで樹脂に埋め込んで自動研磨機を用いて回転させながら湿式研磨を行っています 研磨紙で180番, 320番, 500番, 1000番, 2000番と研磨を行って 最後にダイアモンドスラリーで仕上げてます。 試料中央付近に砥粒や試料片が要因とは考えにくいサイズの凹凸が存在しています。 研磨に関しては初心者のため、研磨を上手くこなすための方法を教えて頂ければ幸いです。

みんなの回答

  • hahaha8635
  • ベストアンサー率22% (800/3609)
回答No.2

#2000 いきなり ダイヤでは飛ばしすぎ 前工程の傷が残ってるんだと思う 磨き平面出しは熟練が必要 180番かける前に機械で頭はねてますか?

  • TIGANS
  • ベストアンサー率35% (244/680)
回答No.1

元半導体製造関係者で半導体ウェハ研磨経験者です。 質問文の情報が少なすぎるので何とも言えませんが 本来なら研磨サンプルのレジストリをシミュレーションかな。 研磨台とホルダが両回転して研磨するタイプの自動研磨機でしょうか? まずは研磨台とホルダの回転比の関係を変更してみてください。

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