HT-CVDのローディングトレイの材料にMoを使っています
- Moを使用する理由は、1000℃までの加熱後に熱変形がなく、加熱-冷却過程に不純物の影響がないからです。
- しかし、Moは高価なのでコストダウンできる材料を探しています。
- 皆さん、お知恵をお貸しください。
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CVD ローディング トレイの材料
HT-CVDの ローディング トレイの材料にMoを使っています。 トレイはモリブデン板加工品です。 Mo使用の理由は 1.1000℃までの加熱後、熱変形が無い。 2.加熱―冷却過程に不純物の影響が無い。 ところが、Moは高価なのでコストダウン出来る材料を探しています。 皆さん、教えて下さい。 2.加熱―冷却過程に不純物の影響が無い。:”不純物が出て来ない。” です。
- 金属
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1000℃なら、インコネルなどのNi基超耐熱合金でしょう。 しかし、これらが少量で発注出来るのか確認が必要と思います。 セラミックスなら、炭化ケイ素 SiCとか窒素ケイ素 Si3N4などもっと選択肢が拡がり、しかも作り方を考えると、金属よりも柔軟に対応してくれる可能性があると思います。
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