メタノールが半導体デバイスの特性に影響するのか？
- メタノールが半導体デバイスの電気特性に影響を与えるかどうかについての情報が不足しており、確証が得られません。
- トランジスタのウエハにメチル基が付着すると、耐圧劣化やhfeの変動が発生する可能性があるとされていますが、文献や実験データが見つかっていません。
- また、メタノールがモールド樹脂に作用して電気特性が変化する可能性も指摘されていますが、確証は得られていません。
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メタノールで半導体デバイスの特性は変化する？
メタノールが半導体デバイス（トランジスタ）に付着すると電気特性が変化するので、生産ライン上で使用するアルコール類をエタノールに変更するようにと指示を受けたのですが、メタノールが影響するという根拠が無く困っております。 メチル基がトランジスタのウエハに付着すると耐圧劣化やhfeの変動が発生するという話なのですが、文献や実験データを見つけることができず、確証を得ることが出来ませんでした。また、モールド樹脂封入後でもメタノールが樹脂の成分に作用し電気特性が変化するとのことでした。（こちらも確証得られず） これは一般的に知られていることなのでしょうか？ 手元の資料とネット検索では、ウエハの微細パターンにIPAの残留ウォーターマークによる不良が発生するという事例は在ったのですが、エタノール、メタノールについての情報を見つけることが出来ませんでした。 どなたかご存知の情報がありましたら、教えていただけないでしょうか。 よろしくお願いいたします。
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文献は、？？ですが、 半導体のウエット洗浄や表面改質工程では、最終に乾燥プロセスが あります。 乾燥には、揮発性があるアルコール（IPA等）類を使用しますが、 使用できない工程もあります。 そこで、使い分けをするより、スピンさせて乾燥させるスピン ドライヤーオンリーの乾燥機を使用する半導体メーカーも有るほど です。 以上の事から、半導体製造プロセス上で、NG工程があるため 不可としているのではないでしょうか？
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お礼
回答ありがとうございます。 質問に詳しく書けませんでしたが、担当している工程がウエハのダイシング後の後工程ですので、半導体プロセス上のNGという訳では無さそうです。 完成されたチップがメタノールとの化学反応によって電気特性が変わるという話なのですが、メタノールがNGでエタノールがOKというのが納得のいかない原因です。質問を書き込んだ後も調べているのですが、それらしい記述が見つかりません。この特性が変化するという話は誰かの勘違いではないかと考え始めております。 毒性が強いからメタノールからエタノールに換えるというのであれば納得できるのですが。。。