レーザー光を浴びるウエハ表面の安全性について
- 現在検討中の案件で、レーザー変位計を使用してウエハの厚みを測定しようと思っています。
- ウエハ表面に直接レーザー光をあてても良いものかどうかについて、メーカーに情報がなく、事前に安全性を確認したいです。
- ウエハの厚みの測定は問題なく可能であり、レーザー光の人体への影響もクラス１で影響がないことが確認されています。
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レーザー光を浴びるウエハ表面の安全性について
お世話になっております。 現在検討中の案件で、レーザー変位計（キーエンス）を使用してウエハの厚みを測定しようと思っています。厚みの測定自体は問題なく出来ることをﾒｰｶｰにも確認し、また、レーザー光の人体への影響もクラス１ということで人体には影響しないことも調査しました。しかし、ウエハ表面に直接レーザー光をあてても良いものかどうか？という点があり、その点についてはメーカーも把握していない（資料が無い）様です。実際やってみて、事後結果で「大丈夫だった」から使用できるという判断も大事であるとは思いますが、導入前にクラス１であれば電気的にＯＯだから安全という根拠を知りたく存じます。お分かりになる方、ご教示お願い致します。
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装置は、ウエハーメーカー向けですか？、デバイスメーカーですか？ の質問はあまり意味が無いですね。 さて、デバイスメーカーでもウエハ全体を使用してチップは作りません。 ウエハのエッジ近くを“直接レーザー光”で当てても問題はないと考えます。 既に、ウエハエッジ近くのマーキングをレーザー等で読み取るセンサーも市販 されている？情報を聞いた事があります。 最近は、隠居生活モードなので、最新情報には疎くて…。 確か、ウエハエッジから2～3mmは大丈夫です？？ 厚みは、0.775mm？？で、ラウンドエッジなら、1.5mm程度は平面があるので。 以上の情報を、貴殿のknow-Whoの方々に確認して、進めて下さい。
その他の回答 (1)
電気的に安全、というニュアンスがよく理解できませんが、例えば、ウェア表面の電気伝導度が変化する、というようなことですか？ 深さnｍレベルでの変化は無きにしもあらずです。測定後に、ウェハ表面にフォトリソ加工で回路を作製するのであれば、気にありますね。ウェハ測定中の周囲雰囲気にレーザ光で反応を喚起される物質が存在すれば、表面の伝導度を変化させるような薄膜が成長するでしょう。ウェハをお客さんに販売して、お客さんのほうで表面洗浄して用いるのであれば、そう不安は無いでしょう。心配であれば表面分析しておけば如何ですか。
お礼
回答有難うございます。
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