精密研磨の際の治具について

質問

現在、精密研磨(平面・平坦化)で困っています。

5mm×5mm 程度の大きさのシリコンチップの平坦研磨を行いたいのですが、
チップと研磨面を平行に保持することが出来ません。
(研磨精度：砥粒=0.05μm程度, 許容角度ずれ(θ)=0.001 °)
　使用環境：回転定盤＋研磨バフor耐水フィルムを用いた"機械研磨"

このように小さいチップを研磨面と平行に保つ方法をご存知の方、
どうかお教え頂けないでしょうか。
(加工精度を満たすのならば、研磨以外の方法でも大丈夫です)
よろしくお願い致します

回答No.1

noname#230359

こんにちわsakuと申します。
ご質問の内容を拝見いたしました。
現在の加工方法は片面の研磨加工かと思われますが
片面研磨では難しいのではと思います（バフをお使いになったら尚更で・・）
このサイズですと、２B、３Bサイズの両面研磨機でやられた方が良いかと思います。
但し、バランスをとるために各装置サイズにあったワーク数量は必要になりますが・・・

お礼

sakuさん、ご返答ありがとうございます。

確かに、現在私が用いている加工方法は片面の研磨加工になります。
アドバイスにある２B,３Bサイズの両面研磨機について
調査を行ないたいと思います。

お忙しい中ご返答頂き本当にありがとうございました。