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静電気での固定

  • 質問No.9451846
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こんにちは
固定について聞きたいのですが樹脂の薄板物を
静電気の原理を使って固定し小径φ2以下での切削加工をしたいのですが
実際に実現できるのかを知りたいのですが
経験した事ある方や何かアドバイスができる方、ぜひ教えてください。
(固定方法や固定力等、安全についてなど)

質問者が選んだベストアンサー

  • 回答No.4
  • ベストアンサー
LCDガラス基板やSiウェハのエッチング装置内で、ガラス基板やSiウェハ
を固定する静電チャックとして使用されています。
エッチング装置内は真空なので、真空チャックが使用できないためです。
材質としては、?樹脂製 ?アルミ+セラミックス溶射 ?セラミックス製
の3種があります。
?として有名なのはトーカロ http://www.tocalo.co.jp/、プラズマ技研等
?としてはTOTO、新日鉄、京セラ、日本碍子等。
-以上-
お礼コメント
noname#230358
大変 参考になる情報 誠にありがとうございます。
だいぶ実現性の可能性を感じております。
早速、メーカーに問い合わせ情報収集してみます。
ありがとうございました!!!
投稿日時:2006/04/11 18:17

その他の回答 (全3件)

  • 回答No.3
"静電チャック"で検索すると情報があると思います
お礼コメント
noname#230358
早速、静電チャックで検索してみました。
色々あるんですね! でも切削対応のモノはさすがに見当たりませんでした。
実際、メーカーを呼んで切削に耐えうる固定力があるのかもしくは
構造上、可能なのか検討していきたいと思います。
投稿日時:2006/04/10 18:26
  • 回答No.2
そのような機械を見たことあります
仕組みはわかりませんが

15~6年前なので記憶がありません
普及していないところを見ると、現在は使われていないのかもしれません
お礼コメント
noname#230358
見た事あるんですか!
情報に心あたりがあればぜひとも教えてください。
お願いします。
投稿日時:2006/04/05 12:04
  • 回答No.1
静電気での保持はした事がないですがエアーでの吸着はやった事があります。
平面のでているプレートに穴をあけエアーで吸着します。
プレート、ワークともに平面度が出ていないとリークしてしまう欠点は
ありますが・・・
自作する事は出来ますが確か市販でも販売されていると思いました。
板圧がどの程度か分かりませんがあとは両面テープでの固定で加工もします。
ワークが薄いと剥がす時に割れてしまう恐れがありますが慎重にやれば
可能だと思います。
お礼コメント
noname#230358
回答ありがとうございます。
バキューム治具での加工は現在、実施しています。
今回、加工したい製品は設備が決められておりZストロークも
余裕がないため治具を一切、使用せずに固定できないか検討した時に
ポッと浮かんだのが静電気でした。
静電気での固定は危険性も多いのでなかなか活用事例がありませんね。
投稿日時:2006/04/05 12:02
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