プリズムについて

質問

勉強させて頂いてます。
　今回、４枚のガラスをはりあわせたワークを使っているのですが、真ん中にパターンがあるのですが、このパターンを基準に装置が画像をみて補正をおこなうのですが、この手前のガラスがプリズムになることがあるのでしょうか。厚みは、1枚が１mm程度です。もし、プリズムになるとしたら、真ん中のパターンはどのくらいずれて見えるのでしょうか。
　お願いします。

回答No.1

noname#230359

（1）状況ですが4枚張り合わせたガラスにパターンとありますが
　　　何枚目にパターンがあるのでしょうか？

使用している状況がわかりませんので一般論しか言えませんが
基準面等の補正とはガラスステージ？が絶対位置に存在との前
提での補正となりますので手前のガラスがプリズムになるとは
他に問題があるか、もしくはパターン補正のガラス基板の問題
ガラス板の研磨で平行度がでていないことが疑われます。

（2）４隅でガラスの厚みを測定してみてはいかがですか、異なる
　　　数値がでてくればガラスの光路長が異なることになります。

（1）（2）が解れば概略ですが中心パターンのズレ量が判明する
かもしれません。

補足

?10mm角程度のガラスです。パターンは2枚目、真ん中です。
?10ミクロン端でちがうとどの程度ずれるでしょうか。
お忙しいでしょうが、宜しくお願いします。