液晶表面 凹凸測定

質問

現在 液晶ガラスにφ3ｍｍ程度の穴をあけ、センサ埋め込み、セラミック系の耐熱接着剤にて封じを行っています。
耐熱接着剤乾燥後、液晶面に合うように削り出しをしているのですが、人為的なため、液晶面と耐熱接着剤面がフラットになっているか 確認が出来ません。
精度は 50μｍ位でいいのですが、液晶面の凹凸を測定する簡単な方法を知りませんか？

回答No.4

noname#230359

液晶ガラスの大きさにもよりますが、プラスマイナス５０ミクロン
程度の精度でよいのであれば金属顕微鏡の焦点深度で大体の目安は
つきそうですね。これが一番簡単では？

回答No.3

noname#230359

こんばんは。

製品の品質上接触式はお薦めできません。

また安くあげるために色々工夫するのも良いですが、結局条件設定などで結構コストと時間はかかってしまいます。

計測システムを開発するのが目的ではないのですから、イニシャルコストは多少高くてもキーエンス製のセンサを使われる事をお奨めします。

回答No.2

noname#230359

yocさんの補足です。やはり接触式はキズの問題で難しいと思います。エア式の計測器は通称「エアマイクロ」と呼ばれ、計測器メーカとしては東京精密、東京測範、第一測範、カールマール、ミリプノイ．．．他各社から出ています。これらの場合ノズル（通称：ジェット）は標準品も有りますが多くの場合、測定物、測定範囲、形状に合わせて作ります。リング形状（内、外形測定）の方がエア漏れが少なく理想的ですが精度、流量（距離、測定範囲）に余り制限を出さなければ、今回のような測定も可能と思います。圧力変化をＡ／Ｅ変換して利用するか、そのままエアで浮玉かメータを動かすかは応用次第です。
光学（レーザー）式変位計はキーエンスのようなメーカの高級機なら問題なく測れますが、それよりも安いレーザー式センサを斜めにあてて、平行に移動すれば凹凸が測れると思いますので、メーカに相談するか、貸出機で実験されると良いと思います。超音波式は分解能や精度で少し苦しい領域かな？
何かの参考になれば幸いです。

回答No.1

noname#230359

高さの違いを測定する方法は色々あると思います。一番確実なのは接触式ですが、たぶん傷などを嫌う物だと思いますので非接触式を探しているのだとして私が良く使う方法で『背圧式高さ測定』があります。簡単に説明しますと一定のノズルから一定圧のエアーを噴出した場合ノズル付近に何か邪魔する物があればノズル内の圧力が変動します。それをセンサーで検出し長さに変換するのです。センサーがアナログ出力ならばＡ/Ｄコンバーターでデジタル変換しデジタルメーターなどで表示判別させれば良いわけです。空圧機器メーカーの《ＣＫＤ》に『パクトシステム』（名前が間違っていたらごめんなさい。）とか言う製品がそれに当たりますが価格が･･･他には『光学式』や『超音波式』などもあります。製品の反射率や環境並びに価格などを考慮して最適な物を選んでください。ご参考までに