シリコン加工条件を確立するための加工技術とは?

このQ&Aのポイント
  • シリコン加工への着手にあたり、Rmax<1.0の条件をクリアーする方法が分からない
  • 平面加工ではなく複雑な形状加工を要求されており、加工技術の確立が急務
  • ツールB#600、φ20、マシニングセンター、主軸Max 7000rpmでの加工条件が必要
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  • 締切済み

シリコン加工条件

初めまして、今度新規ビジネスとしてシリコン加工へ着手する事になりました。ここ1ヶ月程度いろいろ試研削を繰り返しましたが、Rmax<1.0をクリアー出来ません。平面加工であれば他の設備で検討しますが、最終的には複雑な形状加工を要求されている為、何としてもこの条件を確立しなければなりません。加工技術をお持ちの方は是非御教授下さい。現仕様はツールB#600、φ20、マシニングセンター、主軸Max 7000rpmです。またツル/ドレの情報も宜しくお願い致します。

noname#230358
noname#230358

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noname#230359
noname#230359
回答No.2

品物を加工する再に、冷却冶具(液体ガス冷却)を取り付ければ、 既存の装置での加工が可能です。 冷却媒体として、液体窒素や、炭酸ガスなどが割と安く手に入ると思います。その媒体を少量ずつ加工面に吹き付けながら加工すれば大きさに係らずに既存のマシニングで加工出来ます。 (水溶性切削油はかけません→凍結してしまいます。) 冷媒噴射装置(冶具)の製作承ることも出来るとおもいます。 ただ、寸法精度が厳しいものでは、凍結加工すると、 解凍後の寸法と熱膨張分の誤差が生じます。おきお付けください。 最も簡単な方法では、エアゾール式(フロン134a等対オゾン対策ガス)スプレーを直接かける方法もあります。 (-40度位は出せると思います。) 通常400cc位の缶で1,500円位で売ってます。 冷却専用の物とエアーダスターと2種類ありますが、エアーダスターは、逆さに使えば液体で噴射します。 下記URLによりご連絡頂ければ、安く仕入れる事も出来るかもしれません。(噴射用治具等の製作もいたします。) http://www.ctktv.ne.jp/~s-nomura/public.htm 以上よろしくお願いします。

参考URL:
http://www.ctktv.ne.jp/~s-nomura/public.htm
noname#230358
質問者

お礼

具体的な内容有難うございます。心配な点として、要求されている加工精度は0.03の部位があり、このスペックをクリアー出来るか否か、また、クリアーできるとした時、熱膨張分を考慮した際の設計値設定をどうするか等がハードルとなりうる項目と認識しました。装置関係は、URTの方との協議で詰めるとして、トータル的にコスト面での試算を含めて社内関係者間で協議いたします。大変貴重な御意見有難うございました。

noname#230359
noname#230359
回答No.1

高速スピンドルを使用すれば加工可能だと思います。 (30,000rpm以上) シリコンを冷凍状態で加工出来れば、 さらに面粗さを小さくすることが出来ます。 (冷凍だけでも効果は、かなり期待できます。) ご参考まで。

参考URL:
http://www.ctktv.ne.jp/~s-nomura/public.htm
noname#230358
質問者

お礼

大変貴重なご意見ありがとうございます。まさか「冷凍」等とは考えもしませんでした。以前、自分自身設備調査の際冷凍技術成る物を聞いたことがありますが、ワークを固定するだけの技術でした。また、高速スピンドルも知ってはいましたが、何分、この条件確立期限が今月末と言うことで、試験に取り入れる事は考えても見ませんでしたし、今ある設備でと考えておりました。仮に、何らかの形で条件確立し、NEXT-STEPを計画するときには、参考に致します。ありがとうございました。

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