漏電についての疑問とトラブル対応
- 半導体製造装置の漏電トラブルについて考えます。装置の電源ユニットやDC電源の仕組みについて解説し、漏電ブレーカのトリップ原因を考えます。
- 半導体製造装置の漏電トラブルは何が原因なのでしょうか？DC電源の内部の絶縁状況やトランスの役割について考察し、トラブルの解決策を探ります。
- 半導体製造装置の漏電ブレーカのトリップ問題について、DC電源や絶縁悪の可能性を考えながら、トラブルの原因と対策について考察します。
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漏電について
いつもお世話になります。 最近電気の勉強をしています。 その中で疑問に思ったことがありました。 以前は半導体製造装置の仕事をしていました。 電気の知識はありませんでした。 その装置はまずトランスで １次側三相Δ２００Ｖ→２次側スター２０８Ｖ（中性線ありで接地されている） に変換して各ユニットに電圧を供給して装置を動かしています。 ２次側に漏電ブレーカがついています。 装置には電源ユニットがありＤＣ電源が付いていて 半導体処理部に同軸ケーブルでＤＣパワーを供給して放電させています。 マイナス側は接地されています。 半導体処理部はいくつもありその数の分だけＤＣ電源もあります。 このような装置で半年に１回くらい漏電ブレーカがトリップするトラブルがありました。 決まった半導体処理部の放電を開始すると同時にでした。 電源の出力確認しても全然再現しません 電気の知識はなかったのでＤＣのプラスのラインが絶縁悪いのかなくらいしか浮かびませんでした。 電源の出力確認しても全然再現しません地絡はしていなかったのですが、ケーブルや接合部のパーツの交換して様子見とかいう対応をしてました。その後はどうなったのかは知りません。 電気の勉強をしてて疑問に思ったことは DC電源の内部はよくわからないのですがもし電源内部のトランスで変圧して絶縁されていたら ＤＣ電源の出力側で地絡しようが漏電ブレーカはトリップしないのではと思いました。 それだったらやはり電源を替えるのが良かったのかなと思ってしまいました。 わかりずらかったら申し訳ありませんがみなさんの意見があればお願いします。
- karuhuru
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負荷の種類によっては漏電しなくともトリップすることが良くあります。 主な原因は高調波です。 http://cyclo.shi.co.jp/faq/faq60.html#08 Q8などをご覧下さい。
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補足
stardeltaさん回答ありがとうございます。 また資料もありがとうございます。 色々要因があり切り分けが難しいですね。 インバータは使ってなかったですね。 ＤＣ電源も高調波を生み出す要因の一つですかね。