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ダマシンプロセスについての質問です。

ダマシンプロセスについての質問です。 Cuを用いて、ULSIの微細配線を形成する、 ダマシンプロセス(ダマシン法?)とは どういうプロセスでしょうか? また、ダマシンプロセスについての説明が 載っている本がありましたら 教えていただけるとうれしいです。 よろしくお願いいたします。

質問者が選んだベストアンサー

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  • sanasha
  • ベストアンサー率54% (39/71)
回答No.1

象嵌。硫酸銅めっきを使う。

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質問者

お礼

回答ありがとうございました。

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