真空度のリークについて
- 真空度を上げた容器のリークについて検討する際、30分後の圧力上昇を基準にする方法がある。
- 高真空時は容器内の圧力上昇のスピードが速く、それ以降はゆっくりと上がる可能性がある。
- リークの計算式や分析方法をまとめた資料は存在しないかもしれない。
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真空度のリークについて
有る容器を真空ポンプを使用して250Paまで真空度を上げて、その容器が時間の経過と共に容器の真空度が下がってきます。 具体的に言うと30分経過で270Paとなります。 使用目的からすると250Paまで真空度をあげた容器が72時間後に950Pa以下であれば問題無いのですが、実際には72時間放置してチェックするのは実際的でないので、30分後のチェックで判断したいと思い、72時間÷30分＝144となるので、700Pa÷144＝4.86となり、30分後で5Pa以下の圧力上昇であればOKとする。・・・と言う条件でテストすると上記のように20Paアップしてしまい。NGとなりますが、その容器をそのまま72時間放置後容器内の圧力をチェックしたところ520Paでした。 計算上では（270－250）X144＝2,880となります。 やはり、最初の高真空の時は容器内の圧力上昇のスピードが速く、ある圧力まで上がるとゆっくりなるのではないかと推測されます。 それを第三者に分からせるための資料なり、計算式は有りませんか？
- uchida-uni
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＞資料なり、計算式は有りませんか？ 無いと思います。 たぶん、初めの数時間は圧力が早く上がりだんだんとゆっくりになるという曲線が描けると思います。それはその容器の性能なので、30分おきに測定して（もしくはサンプルを沢山用意して、30分後、1時間後、1時間30分後…と何回か測定する）、自分でグラフを描き、最小自乗法の2次回帰あたりで係数を求めるのが、その容器の性能評価になるのではないでしょうか。 もしも他社との容器の性能を比較するのであれば、他社のも同じ実験をして、比較すればよいと思います。
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