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薄膜についてなんですが‥
akuzの回答
- akuz
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＃5です。 特許庁のHPに参考となる薄膜形成技術調査報告書が PDFファイル形式で掲載されています。 この利用範囲にて、ほぼ網羅しているハズです。 さらに特許情報は 最良の教科書です。 http://www.jpo.go.jp/indexj.htm 技術動向=>特許出願技術動向調査報告=>薄膜形成技術
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