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シリコンウエハの粉塵の危険性について

2008/06/19 17:58

結晶性シリカなどの遊離ケイ酸は発がん性があるとされているようですが、シリコンウエハも結晶性シリカに分類されるのでしょうか？その場合、ウエハの切断時に出る粉塵も危険なのでしょうか？ご存知の方、教えて頂ければ幸いです。

suzuki--
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化学
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noname#160321

2008/06/20 08:05 回答No.1

>シリコンウエハも結晶性シリカに分類… 分類されません。ウエファは金属ケイ素です。その毒性は不明です。(汗；

質問者

お礼 2008/06/24 19:11

お礼が遅くなりまして申し訳ありません。結晶性シリカには分類されないとのことで少しは安心できました。ご回答ありがとうございました。

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