XPSについて教えてください。

質問

どうもこんにちは。初めて質問します。
今ＸＰＳについていろいろ調べています。
ＸＰＳの結果を見ると”atom %”が示してあります。
これは"relative area"から求められているのですが、
この"relative area"とは何なのでしょうか？
そして"area"とどう違うのでしょうか？
ぜひ教えてください。

回答No.1

gator · ベストアンサー

XPSはX線光電子分光法の略で、ESCAという呼び方もありますので、
こちらでも調べてみてください。

さて、実際に装置で分析をしてみたことがありますでしょうか?
XPSは名前の通り、試料にX線をあて、出てきた電子のエネルギーを
調べます。
X線のエネルギー － 電子のエネルギー ＝ その電子が飛び出してくるのに必要なエネルギー
ということで、それがわかれば、元素がわかるし、その量の割合がわかれば、
各元素の比”atom %”がわかる訳です。

ただ、同じ量のX線をあてても、出てくる電子の量は違います。これを補正するのが、
Sensitivity Factorで、分析装置のPCの中にデータが入っているはずです。
それから、もともと微量だったり、電子の出にくい元素の場合、強度が弱くなるので、
分析回数を増やしたりします。

まず、生データは横軸エネルギーで縦軸は強度ですよね。この面積が"area"。
これに分析回数などの分析条件を考慮に入れる必要があります。
例えば、強度が弱いから他の元素の10倍の回数分析すれば、実際はareaを10で
割ってやる必要があるということです。そして、それにSensitivity Factorを
掛けた(割った?)ものが、"relative area"。そして、その"relative area"
から”atom %”が計算されるのです。

以上

お礼

補正を考慮にいれて計算されたものが
"relative area"というわけですね。
これからSensitivity Factorについて
調べてみようと思います。
回答ありがとうございました。