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スケーリング則 半導体
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こんばんは。 １．動作周波数の増加 ＭＯＳＦＥＴは、ゲート長が短いほど電流能力が向上します。 配線は、細いほど寄生容量が小さく、抵抗は増しますから、一長一短です。 ２．集積度の向上 上記の配線の説明と同じです。 つまり、集積度を上げても配線遅延はあまり変わらないので、逆に言えば、特性を維持したまま集積度の向上が可能であるということです。 複数の配線層（２階建て以上）においては、層間絶縁膜の容量の低減も考える必要がありますが、集積度と比例させて絶縁膜の厚さを小さくすると、基本的には容量もスケーリングされたことになります。
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とてもよくわかりました！ ありがとうございます。