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RF電源の”RF”って何ですか?

  • 質問No.3319
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  • 回答数3

お礼率 36% (46/127)

RFプラズマなどに使用されているRF電源の”RF”ってな何の省略でしょうか?

回答 (全3件)

  • 回答No.3

ベストアンサー率 37% (260/696)

皆さんが答えておられる通り、Radio Frequencyの略ですね。実際のプラズマ電源を設計したことが無いのでどれくらいの周波数かは想像つきませんが、分子を励起してイオン状態にするわけですから、相当な外部エネルギーが必要と思われます。
  • 回答No.2

ベストアンサー率 3% (1/28)

Radio Freqyency(高周波)の略だとおもいますが。
  • 回答No.1

ベストアンサー率 5% (1/19)

新美@BXG02213です。
RFですが、Radio Frequencyの略で、日本語では高周波のことだと
思うのですが...。違っていたらご免なさい。m(_ _)m
補足コメント
propeller

お礼率 36% (46/127)

みなさんありがとうございました。
投稿日時:0000/00/00 00:00
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