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薄膜の測定法について

プラスチック素材に蒸着、スパッタ、銀鏡反応などで作った膜の厚さを簡単に現場測定したい。これに使える膜厚計を教えてください。現場で膜厚管理が出来なくて困っています。

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  • walkingdic
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回答No.1

膜厚、膜材料によりことなります。 光学的に透過するものであれば、膜厚が薄ければ（＜１μｍ以下）エリプソメーター、厚ければＦＴＩＲ（フーリエ赤外分光計）です。 光学的に光が通らない場合には、蒸着時にサンプルを用意して半分をマスクし、膜のあるところとないところの段差をタリーステップなどで測定します。

jiro0707
質問者

お礼

有難うございます。蒸着膜はアルミ板をダミーに置いて渦電流式の膜厚計で測定していますが、もっと薄い多層金属膜を蒸着する場合、一定の干渉色を出すため膜厚管理したいと思いました。一度キチンと測定しておけば後は、蒸着条件を変えない限り同じ膜厚が得られると思います。 素材は透明なアクリル板なので参考にさせて頂きトライしてみます。 感謝！jiro0707

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