結晶成長

質問

半導体製造で主な結晶成長法に関して
結晶成長で種結晶が使われる理由について教えてください。

回答No.1

sanori · ベストアンサー

種結晶がないと、結晶を成長させるとき、結晶の方向が定まらないからです。

種結晶があれば、種結晶付近での結晶成長は、種結晶と同じ方向の結晶配列にそろいます。
その方向は、後から後から成長する結晶も、全部同じ結晶方位になります。
つまり、あとは、新たに種結晶を与えなくても、引き上げ装置内で、全部同じ方向にそろった結晶が成長していきます。

つまり、意図する成長方向の「きっかけ」を与えてやるということなんですね。

お礼

よくわかりました
ありがとうございます