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圧電アクチュエータの正弦波運動制御
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- 大明神（@bathbadya）
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かなり高速の動作なのでフィードフォワード制御の方が良いように感じますが・・・ 最近はフィードバック制御（フルクローズド制御）自体があまり使われていないのでかなり特殊になりそうです。
- esezou
- ベストアンサー率37% (437/1154)
hide2066 さん、今晩は。 圧電アクチュエータにフィードバック制御用電極があるという前提で、 高電圧アンプ（ドライバ）、オペアンプ、正弦波発振器 １ミクロンの精度を出せというのに回答するためには、圧電アクチュエータの仕様が判らないと出来ません。
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補足
esezouさん，返答ありがとうございます． 私の説明不足でした．使用している圧電アクチュエータはスタックタイプで，フィードバック制御用電極などはなく，圧電素子に絶縁コーティングが施されているだけです．また，公称ストロークは２０ミクロンのものです．ピエゾメカニクス社のものです．