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水晶振動子を使った膜厚計
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monmon666さんこんにちは。 水晶振動子の上に生成した物の膜厚を測りたいのですよね。 ２つの良く揃った水晶振動子を用意し、片方は膜生成に、 別の片方を基準発振用とします。 ２つの水晶振動子でそれぞれ発振器を構成します。 電気的、空間的に分離しないと、周波数を互いに引き込み、 不感帯が生じ精度に悪影響します。 ２つの周波数（または位相）を比較します。 必要なら周波数電圧変換します。 比較した周波数（電圧）差が膜厚に依存するので、 測定し、データを取り、別の方法で測った膜厚と比較校正します。 水晶発振器、周波数（位相）比較器、周波数電圧変換器などは、 それぞれのキーワードで検索可能と思います。入門的には、 ＣＱ出版社等の書籍が参考になります。 また電気化学会誌等に同様の論文が２０年以上前から載っているはずです。 ご検討をお祈りします。 ttp://homepage1.nifty.com/sokano/sub5.htm ttp://jstore.jst.go.jp/cgi-bin/patent/ipc/pat/detail_pat.cgi?patid=8412&parent=G08%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20&fabrication=1# ttp://www.oita-ri.go.jp/cgi-bin/show.pl?doc=0&no=465&mode=0 ttp://www.aist.go.jp/NIMC/publication/news01/47-3.htm ttp://www.tamadevice.co.jp/whats-qcm.htm
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- gamma
- ベストアンサー率56% (44/78)
共振周波数を求めれば良いだけでしょ。 振動子の固有周波数は温度や気圧など周囲の機械的抵抗でも変るので、それもモニターして補正する必要がありますが。 原理から考えれば、方法は、いくらでも考えられるのでは？ 較正をどうしますか？
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