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シリコンウエハについて
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- DASS
- ベストアンサー率38% (116/304)
くっつけると言っても、接着剤でくっつけるわけではないですよね？ ちょっと質問内容に具体性が乏しいので、補足をお願いしたいです。 ところで、シリコンウエハ同士ではないのですが、シリコンウエハとガラスをくっつけるのに、「陽極接合」という技術を使います。 ウエハとガラスを接触させておき、電気を流す事で、ガラス中の成分がシリコンと反応して化合物を作り、くっつくそうです。 詳しく書かれたＨＰを見つけられなかったので、専門書などを探してください。
- pen2san
- ベストアンサー率37% (260/696)
はい、あります。 最近（数年前？）では、片方のウエハーの表面を酸化させSiO2を形成します。そのSiO2側にシリコンウエハーを重ねSi-SiO2-Siとします。 これをSOI技術と言い基盤を通してのノイズの減少に役立てたり、基盤への通過電流を押さえ低電力ICを作る際に利用します。
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