ＸＰＳ

質問

今、表面分析の勉強をしています。
実際に機器を起動してガス出し・・・・
そこまでは順調でした。ほとんど問題もありません。
ただ、一つ気になることがありました。
ガス出し手順に、”ＳＣＡ（チャネルプレート）のガス出し”と
あったのですが、ＳＣＡというのが何なのかわかりません。
非常にアバウトな質問ですが、もしおわかりになる方がおられたら
教えてください。お願いします。

回答No.1

128yen · ベストアンサー

gods-twilightさんが扱われているXPS装置は、静電半球型アナライザーのアナライザーを用いているのでしょうか？このアナライザイーの多くは検出器としてマルチチャンネルプレ－ト（多重検出方式）を用いています。これは二次電子を増幅（増倍）する働きを持っています。構造的には内径が10～20μm長さが0.5～1mmの電子増倍管を数十万～数百万本束ねた構造をいて二次電子を10の4乗から8乗まで増幅できます。たいていは16チャンネルだったと思いますが。。。
私も詳しくは知りませんが、このチャンネルプレートのデガスのことを指すと思うのですが。。。

ちなみに、SCAとは静電半球型アナライザーのことで、たぶん英語ではSpheriCal Analyzerといい頭文字の部分をとったのでしょうね。一般的には同心半球型アナライザー（Concentric Hemispherical Analyzer）と言いますが。。。（参考書などによく載っていますよね！）

ちなみに私は数年前までXPS装置を使用していました。でも20年ほど前の装置なので静電半球型アナライザーなんて素晴らしいものはありませんでした。フロッピーも8インチと5インチのを使っていましたからね。

私もそんなに表面分析は詳しくないのでかなり勉強しています。お互い頑張りましょうね。

回答No.2

128yen

先ほどの続きです。。。

ベーキング後にはその表面に吸着物が付着しています。チャンネルプレートは、電子増倍管の役割をしているのですが、たとえば吸着物が残った状態でXPS測定をするとチャンネルプレートに入った光電子が増幅される以外に吸着物による増幅も行われるわけでそれにより電子増倍管が飽和して壊れる可能性があるのです。

よってXPS測定を行う前に、光電子を一定にした状態でチャンネルプレートの印加電圧を通常より下げた状態で徐々に上げていき、またそれが終わってからはX線の径を大きくして光電子の量をふやして行きます。こうすることによってチャンネルプレートのガス出しが出来ます。