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真空機器の設計におけるシール方法とは？
noname#230359の回答
専門家ではありませんが、少しでも参考になればと思い投稿します。 高真空用または超高真空用としてはマグネットカップリング方式や磁性流体シールがあります。 ただ、1Pa程度でしたらオイルシールを使い、少し能力の高い油回転真空ポンプでチャンバー内を引いてもいけるかもしてません。 真空度を低真空から中真空の下げるだけならやってみる価値はあると思います。
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