基板上の薄膜成長のために堆積させる「蒸気」とは
- 分子線エピキタシー法について調べたりしています。
- 蒸着材料を蒸発または昇華させた「・・・」を基板に堆積させて薄膜を成長させる、と説明されています。
- 蒸着材料を昇華させた場合でも、「蒸気」とか「蒸発分子」といってよいのでしょうか(言葉の使い方についてですが疑問ですので教えてください) ?
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基板上の薄膜成長のために堆積させる「蒸気」とは
分子線エピキタシー法について調べたりしています。 http://ja.wikipedia.org/wiki/%E5%88%86%E5%AD%90%E7%B7%9A%E3%82%A8%E3%83%94%E3%82%BF%E3%82%AD%E3%82%B7%E3%83%BC%E6%B3%95 この分子線エピキタシー法では、蒸着材料を蒸発または昇華させた「・・・」を基板に堆積させて薄膜を成長させる、と説明されています。 ここの「・・・」の部分ですが、「蒸気」とか「蒸発分子」という言葉を使っている文献があります。 蒸着材料を「蒸発」させた場合に、「蒸気」とか「蒸発分子」というのはわかりますが、 蒸着材料を「昇華」させた場合でも、「蒸気」とか「蒸発分子」といってよいのでしょうか(言葉の使い方についてですが疑問ですので教えてください) ?
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ついでに昇華についても調べて見れば、 http://ja.wikipedia.org/wiki/%E6%98%87%E8%8F%AF_(%E5%8C%96%E5%AD%A6) 元素や化合物が液体を経ずに固体から気体、または気体から固体へと相転移する現象 なんだから、ええんでないの。
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ありがとうございました。