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sesameの回答

  • sesame
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回答No.1

孔や溝の開口幅と深さの比のことだそうです。 幅0.5μm、深さ2.0μmの溝のアスペクト比は4.0 というように使います。

参考URL:
http://www.melco.co.jp/news/2000/0613.htm

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