PVDは比較的真空度の高い雰囲気で成膜を行うので、材料分子の
直進性が高くなります。したがって、ソースから"見えない"ところ
には成膜しません。したがって、凹凸の激しい試料の成膜には
適しません。
一方、#1の方が参考に出されたCVDはガス状態で回り込みが可能
なので、凹凸の大きな試料でも成膜可能です。
line-of-sightの直接の訳ではありませんが、上記から想像できる
と思います。
以上
投稿日時 - 2003-05-31 15:27:53
お礼
なるほど、line直線方向(ソースから見える部分)しか見えない(視界:sight)から、PVDは凹凸の激しい試料を完全に金属で覆い被せることは難しいということで、よろしいのでしょうか？ 分かりやすい説明を本当にありがとうございます。勉強になります。
投稿日時 - 2003-05-31 17:18:58
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ベストアンサー以外の回答（1件中 1～1件目)
ダイレクトな回答ではありませんが、以下の参考URLは参考になりますでしょうか？
「PVD/CVD」
ここでFig.2とFig.3の間の説明文が参考になるかもしれませんが・・・？
専門用語では分かりませんが、
・line-of-sight：照準線
ご参考まで。
参考URL：http://archive.metalformingmagazine.com/1999/03/tooling/PVDCVD/PVDCVD.htm
投稿日時 - 2003-05-31 14:45:08
お礼
いいサイトを教えていただきました。一度、読んでみます。助かります。
投稿日時 - 2003-05-31 17:20:30
