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DSM(ディープサブミクロン) と DSM LSI について
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- rabbit_cat
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LSIに作りこむ配線の幅(フィーチャーサイズ)が、1ミクロンよりもずっと小さいLSIのことをディープサブミクロンLSIといいます。 数年前は、フィーチャーサイズが0.25ミクロンとか、0.13ミクロンとかになって、さかんにディープサブミクロンなんて言葉をつかっていたのですが、 現在の最先端のLSIは、例えばIntelのペンティアムなんかは、フィーチャーサイズ45nm(0.045ミクロン)まで小さくなってしまいました。ここまで小さくなると、そもそも1ミクロンと比べているディープサブミクロンなんて言葉自体が感覚にあわなくなってきてますね。 ただし、0.25ミクロンとか0.13ミクロンのLSIも、分野によってはまだまだ現役で使われているので、ディープサブミクロンて言葉も使われてます。
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