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伝導性ガラスについて
TCMの回答
それでは私はスパッタリング法について。 プラズマが物質表面に衝突して原子や分子を叩き出す現象をスパッタ（スパッタリング）といいます。またこの叩き出された原子や分子を基板上に堆積させる技術をスパッタ法（スパッタリング法）といいます。蛍光灯の端が黒ずんでくるのもスパッタによるものです。 このスパッタ法には、下記のような特長があります。 1.ターゲット組成に近い薄膜が得られる。 2.高融点の物質の薄膜が得られる。 3.薄膜の基板への付着力が大きい。 またスパッタ法には、参考URLにあるように種々の方式がありますが、今回のような酸化薄膜の形成には、簡単な構造のマグネトロンスパッタ方式を利用するのではないかと思われます。参考URLの図は断面図なのでわかりにくいですが、ターゲットとその裏面に置く磁石も円板状ですので、発生する磁力線もそれに沿ってドーナツの半分形状となります。 ITOはKookooさんのおっしゃる通りIndium Tin Oxideですね。透明電極や導電材料となりますが、ITO薄膜の形成はスパッタ法やイオンプレーティングなどで行われます。ここで、ITOとスパッタが繋がるのですね。
noname#211914
- noname#3136
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