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residual birefringence
noname#11476の回答
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Residual birefringence は残留複屈折は、要するに本当は複屈折がないことが理想にもかかわらず、複屈折が残っていることを指します。 しかし、スパッタリングプロセスということからイメージが掴めません。 もしかして、光学素子のコーティング関係ですか？ もしそうであれば、基盤にコートする時の基盤の検査のうちbirefringenceの計測が出来るという意味でしょうか。 簡単な測定器であれば、目視主体で測定する機器があります。 日本内では、ルケオが有名です。「歪み計」と呼ばれています。 http://www.luceo.co.jp/index2.html 単なる目視観測のものから、ある程度までの定量測定が出来る物まであります。 更に、高精度に計る場合は、HINDSのbirefringence meter が事実上業界標準となっています。レーザで高精度に測定可能です。 http://www.hindspem.com/ 分野が異なると、上記回答は全く参考にならないかも知れませんが、光学素子であれば、上記の通りです。 では。
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