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RF プラズマとは?

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お礼率 62% (5/8)

RFプラズマというものを半導体分野から聞きますが、
RFはなんの略語で、何を意味するものでしょうか。次にRFプラズマに関しても説明してください。
よろしくお願いします。
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質問者が選んだベストアンサー

  • 回答No.1
レベル10

ベストアンサー率 24% (63/261)

Radio Frequency で高周波のことですね。
電子レンジ的世界で13.56MHz等の高周波で物質をイオン化プラズマ状態にする装置かと思います。
お礼コメント
terebi

お礼率 62% (5/8)

ご説明ありがとうございます。
これからもよろしくお願いします。
投稿日時 - 2002-02-22 11:17:31
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