- 締切済み
スパッタリングで起こるシャドウイングについて教えてください。
スパッタリングを用いた半導体の配線で、高いアスペクト比の孔や溝の底部 側壁で膜厚が薄くなる現象であるシャドウイングの物理的な現象を 分かりやすく教えてもらえませんか。 また、勉強し始めたばかりなので、銅配線関係の入門書などあれば、 紹介していただけたら、有り難いです。 宜しくお願いします。
- chappie
- お礼率0% (0/1)
- その他（学問・教育）
- 回答数1
- ありがとう数2
- みんなの回答 （1）
- 専門家の回答
みんなの回答
- saikoro
- ベストアンサー率57% (11/19)
回答がないようなので、一般人ですが... > シャドウイングの物理的な現象 単純に斜めから入射する粒子が底までいかず、入り口を塞いでしまう現象では？ > 銅配線関係の入門書 入門書は分かりませんが、Cu、ダマシンあたりで検索すると糸口がみつかるかも。
関連するQ&A
- 金スパッタ膜厚とレーザー透過率
キーエンスのレーザー顕微鏡（VK-8500)にてポリイミド膜上の銅再配線の膜厚を測定したいのですが、ポリイミドをレーザー（650nm）が透過してしまいうまく測定出来ません、そこで金をスパッタリングしてポリイミド表面にて反射させようと思います。 その際に必要となる金スパッタ膜の膜厚は最低限どのくらいの厚みが必要でしょうか？ スパッタ膜質にも関係するかと思いますがおおよその厚みが判る方がおられましたらご教授下さい
- ベストアンサー
- その他（電子・半導体・化学）
- 窒化タンタル膜のエッチングについて
すいませんがどうしても教えてもらいたい事があります。現在半導体メーカーに勤務しているのですがそこでCuta膜（銅と窒化タンタル膜の2層で構成された膜）をエッチングしなければなりません。 そこで調べたのですがなかなかうまく検索できずに困っています。 工程としてはWeｔにおける処理なのですが窒化タンタル膜とはどの薬品にてエッチングを行っているのでしょうか？ 情報としてはフッ硝酸と過水及び水で混合された薬品にて処理を行っているのですが処理回数を重ねるたびにエッチング量も減少していきます。このため、薬品の混合比がくずれ燐酸における（SiO2の溶け込みにおけるOXIDE膜（酸化膜）のエッチング量減少）状態と同じ様な現象が起きているのでしょうか？ もし減少が上記問題にて引き起こされている場合はどの薬品の比率に大きく関係しているのかを教えてもらいたいです。 すいませんが分かる方いましたらどうぞよろしくお願いします。
- 締切済み
- その他（ビジネス・キャリア）
- ノイズ対策等で用いられるグランドについて
ノイズ対策等で用いられるグランドについて質問です。 コの字型の配線の両端を十分に広い共通グランドに接続し、一方に交流電源を設ける場合、 グランド面の材料が導体であれば配線から離れた観測点Pにおける 電磁界強度(放射ノイズ)に差は出ないものなのでしょうか。 たとえばグランド面の材料が鉄(導電率1e+7[S/m],比透磁率5000)の場合と 銅(導電率5.8e+7[S/m],比透磁率1)の場合で観測点Pにおける電磁界強度は ほぼ同等となるのでしょうか？なるとすればなぜでしょうか。 どなたかご教授ください。よろしくお願いします。
- ベストアンサー
- 物理学
- スパッタリングとは？
スパッタリングとは、どんな技法なのか？ということが知りたいです。できれば、スパッタリングをする時、心がけることも教えてくれるとうれしいです。
- ベストアンサー
- その他（趣味・娯楽・エンターテイメント）
- スパッタリングについて
初心者なのでスパッタリングの知識は皆無です。 現状の知識はネット上の情報のみです。 もう少し詳しく知りたいのですが・・・ 例えば １ どんな素材へ処理が可能か？ ２ Agスパッタ以外にも種類はあるのですか？ 質問が的を得ていないと思います（初心者なので） 何卒よろしくお願い致します。
- 締切済み
- その他（表面処理技術）
- シャドーイング
英会話教室に行き始めて３年ほどになります。初心者からのスタートで、最近やっと先生のフリートークがなんとか聞き取れる（単語から会話の内容を推測）ようになりましたが、私は単語・単語を繋げる情けない応答になってしまってます。 そこで、シャドーイングが効果的とこちらにも投稿がありましたので、好きなドラマのシャドーイングを２，３日（３０分程度）してみました。半分くらい会話を追える程度で意味はなんとなくしかわかりませんし、もちろん、構文は全然頭に入ってきません。ただただ口を動かしているだけです。これで、シャドーイングの効果はあるのでしょうか？やはり、それ専用の教材やNHKラジオなどを利用した方が良いのでしょうか？ また、仕事が忙しいのを言い訳に英会話教室に通うだけになってしまった勉強方法を変えたいと思ってます。（仕事をやめたので時間ができました）家庭の事情で海外には行けないのですが、中だるみの転換によい勉強方法がありましたら何かアドバイスをお願い致します。
- ベストアンサー
- 英語
- シャドーイングのやり方
英検２級、ＴＯＥＩＣ７４０点（Ｌ４００・Ｒ３４０）の者です。 私はこれから、シャドーイングでリスニング力を高めていきたいのですが、シャドーイングのやり方について、まだちゃんとわかっていません。いくつかのサイトで調べたのですが、具体的にどのような手順でひたすら繰り返せばいいか、分からない部分も多いです。 一応、下記のサイトは見ました。 http://www.cosmopier.com/eio/shadow.html http://www.alc.co.jp/eng/benkyo/trainingm/04.html しかし、上記２サイトだけではなく、できればさらに、シャドーイングメソッドを書いたサイトをいくつか参考にしたいです。個人のブログではなく、ちゃんとした株式会社のサイトとか、大学教授や准教授、大学講師がおススメするシャドーイングメソッドが書かれたサイトとか、英語学習系テレビ番組のサイトとか、信頼できるサイトを探しているんです。 間違った方法で何カ月もシャドーイングして、徒労に終わってしまうのが怖いんです。 というわけで、いくつかサイトを紹介していただければと思います。よろしくお願いいたします。
- ベストアンサー
- 英語
