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マスクの作製について

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フォトリソグラフィのための、マスク(7μm周期)を作りたいのですが
どのようにして作るものかよくわかりません。
作製法を知っている方、教えてください。
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回答 (全1件)

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レベル13

ベストアンサー率 26% (267/1014)

作製法は知りませんが・・ http://www.jaist.ac.jp/~shingi/kiban.html # 自分で作ろうとしているのですか!!? ...続きを読む
作製法は知りませんが・・
http://www.jaist.ac.jp/~shingi/kiban.html

# 自分で作ろうとしているのですか!!?
お礼コメント
take77

お礼率 100% (1/1)

回答ありがとうございます。

一応考えとしては35mm四方に7μm周期のものを
作るとして、約2500本の線を引きそれをカメラで
撮影して、そのネガをもちいてなんとかしようとは思っていますが、
これでうまくいくのかがわかりません。
ほかのいい方法があればと思って、質問しました。
投稿日時 - 2001-10-04 19:45:26


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