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プラズマから守りたい・・・
k-fonの回答
- k-fon
- ベストアンサー率30% (241/783)
フッ素ゴムはコーティング剤の”のり”が悪そうなので、他の方法を考えたほうが良いと思うのですが。 真空気密シール等の目的でどうしてもフッ素ゴムを使用する必要があるのなら、直接的な解決策ではないのですが、フッ素ゴムシートとプラズマ源との間にＳＵＳ等の遮蔽板を置く構造にしたらどうでしょうか？ もしフッ素ゴム使用の目的が真空気密シールならば、これをメタルＯリングに変更すれば簡単に解決できそうですが・・・
- 参考URL：
- http://www.valqua.co.jp/
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