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リソグラフィー技術について
denden_keiの回答
- denden_kei
- ベストアンサー率23% (542/2278)
>現在のリソグラフィー技術の今後の課題についておしえて下さい． 集積回路の製造に使うフォトリソグラフィに関して考えます。 配線の微細化に伴い、より短波長の露光用光源が必要となっています。この例として、放電による光を利用する、放電光源が検討されています。 微細化に従い、不純物粒子のより徹底的排除が必要なほか、シャープな仕上がりのためのプロセス条件が難しくなっています(細かい部分は各社の企業秘密です)。
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